一、精密零件切削加工
主要有精密車削、鏡麵（miàn）磨削和研（yán）磨等。在精密車床上用通過（guò）精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用於加工有色金屬材料的球麵、非球麵（miàn）和平麵的反射鏡等高精度、外表高度（dù）光潔的零件。例如加工（gōng）核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射（shè）鏡，最高精度可達0.1微米，外表粗糙度為Rz0.05微米。
二、精密零件加工
精密零件加工精度以納米，甚至最後以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適（shì）應（yīng），必要借助特種精密零（líng）件加工的方法，即應用化學能、電化（huà）學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子（zǐ）間的聯合能，從而去除工件外表的部分原（yuán）子間的附著、聯合或晶格（gé）變形，以達到超精密加工的目的。屬於這類加工的有機械（xiè）化學拋光（guāng）、離子濺射和離（lí）子注入、電子束曝（pù）射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。
